一、基本概述

　　ELIONIX-5是第五代納米壓痕儀，也被稱為超微小壓入硬度儀。它以其卓越的性能和廣泛的應(yīng)用范圍，在科研領(lǐng)域具有重要地位。

　　二、主要參數(shù)

　　測(cè)量范圍：±50μm

　　測(cè)量分辨率：高達(dá)0.3pm，確保了測(cè)量結(jié)果的精確性。

　　試驗(yàn)力：0.5μN(yùn)~2000mN，覆蓋了廣泛的測(cè)試需求。

　　試樣尺寸：代表值為φ50×t3.5mm，可測(cè)量區(qū)域?yàn)閄50、Y40mm，最小移動(dòng)步數(shù)可達(dá)0.1μm，滿足了不同實(shí)驗(yàn)的需求。

　　三、應(yīng)用領(lǐng)域

　　ELIONIX-5的應(yīng)用領(lǐng)域非常廣泛，包括但不限于：

　　薄膜材料：如電鍍、硬膜、DLC等超薄薄膜、功能性樹脂薄膜和表面改性薄膜等。

　　樹脂材料：適用于各種樹脂材料的硬度測(cè)試。

　　微粒子與粉體材料：能夠精確測(cè)量微粒子和粉體材料的硬度。

　　多層材料研究：通過壓入深度與模量、硬度等物理量相關(guān)的參數(shù)曲線，研究多層材料，特別是納米級(jí)別的多層材料的情況。

　　四、測(cè)試功能

　　ELIONIX-5提供了全面的測(cè)試功能，包括：

　　準(zhǔn)靜態(tài)模量和硬度測(cè)試：測(cè)量材料的模量和硬度。

　　連續(xù)剛度測(cè)試技術(shù)：實(shí)時(shí)測(cè)量材料的剛度變化。

　　多相或復(fù)合材料的硬度Mapping和楊氏模量Mapping：對(duì)復(fù)合材料進(jìn)行硬度和楊氏模量的分布測(cè)試。

　　剪切模量測(cè)試：測(cè)量材料的剪切模量。

　　薄膜或涂層材料的附著力測(cè)試：評(píng)估薄膜或涂層與基材的附著力。

　　壓入功計(jì)算：計(jì)算壓入過程中所需的能量。

　　壓入蠕變測(cè)試：研究材料在長(zhǎng)時(shí)間載荷下的變形行為。

　　變溫測(cè)試：在不同溫度下測(cè)量材料的性能變化。

　　掃描電鏡-納米壓痕聯(lián)用：結(jié)合掃描電鏡技術(shù)，實(shí)現(xiàn)高分辨率的機(jī)械行為測(cè)試。

　　五、使用注意事項(xiàng)

　　在使用ELIONIX-5時(shí)，需要注意以下幾點(diǎn)：

　　儀器準(zhǔn)備：確保電源和氣源正常供應(yīng)，檢查各部件是否處于正常工作狀態(tài)。

　　壓痕頭標(biāo)定：在進(jìn)行實(shí)驗(yàn)前，需要對(duì)壓痕頭進(jìn)行標(biāo)定，以確保測(cè)量的準(zhǔn)確性。

　　樣品制備：選擇符合實(shí)驗(yàn)要求的材料，進(jìn)行必要的拋光和清洗步驟，確保樣品表面光滑無雜質(zhì)。

　　實(shí)驗(yàn)參數(shù)設(shè)置：根據(jù)材料的硬度和預(yù)期結(jié)果，選擇合適的實(shí)驗(yàn)參數(shù)，如壓力大小、壓痕頭下降速度和壓痕深度等。

　　實(shí)驗(yàn)環(huán)境穩(wěn)定：保持實(shí)驗(yàn)環(huán)境的穩(wěn)定，避免外部震動(dòng)和干擾對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果的影響。